Authors: Worapattrakul, Natalie
Contributors: Kassel, Universität Kassel, Fachbereich Elektrotechnik / Informatik, Hillmer, Hartmut (Prof. Dr.), Lehmann, Peter (Prof. Dr.), Bangert, Axel (Prof. Dr.), Witzigmann, Bernd (Prof. Dr.)
Subject Terms: ddc:620, ddc:690, swd:MEMS, swd:Mikrooptik, swd:Spiegel, swd:Mikrofertigung, swd:Nanoprägen, swd:Planartechnik, swd:Tageslichtsystem, swd:Spiegelsystem, swd:Mikroaktor
Relation: http://doi.org/doi:10.19211/KUP9783737602792; http://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:0002-402794; urn:nbn:de:0002-402794; urn:isbn:978-3-7376-0279-2 (e-book)
Authors: Tatzel, Andreas
Contributors: Kassel, Universität Kassel, Fachbereich Elektrotechnik / Informatik, Hillmer, Hartmut (Prof. Dr.), Ziegler, Marcus (Prof. Dr.)
Subject Terms: Mikrospiegel, Mikrospiegel-Arrays, elektrostatische Aktuation, aktive Fenster, Eigenspannungen in Dünnschichten, Krümmungsentwurf, Krümmungsberechnung, Design von mechanischen Spannungen, Dünnschichtstapel, Intelligentes Glas, Tageslichtlenkung, ddc:620, swd:Spiegelsystem, swd:Tageslichtsystem, swd:Mikrosystemtechnik, swd:MEMS, swd:Array, swd:Krümmung
Relation: 314578, 284533; http://doi.org/doi:10.17170/kobra-20190121105
Availability: https://doi.org/10.17170/kobra-20190121105
Authors: Al-Qargholi, Basim
Contributors: Kassel, Universität Kassel, Fachbereich Elektrotechnik / Informatik, Hillmer, Hartmut (Prof. Dr.), Bangert, Axel (Prof. Dr.), Lehmann, Peter (Prof. Dr.), Witzigmann, Bernd (Prof. Dr.)
Subject Terms: micromirrors, deposition, nanoimprint lithography, bi-layered photomask, etching, photoresist, silicon, residual layer, ddc:530, pacs:Wave propagation in random media, pacs:Diffraction and scattering, pacs:Interference, pacs:Light-sensitive materials, pacs:Glasses, quartz, pacs:Visible and ultraviolet sources, swd:Spiegelsystem, swd:Array, swd:Silicium, swd:Fotoleiter
Relation: http://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hebis:34-2017011151880; urn:nbn:de:hebis:34-2017011151880