Authors: Gorecki, C., Nieradko, L., Bargiel, S., Dziuban, J., Henis, D., Sylvestre, J.A., Alkowska, K., Soto-Romero, Georges, Thevenet, Jean, Yahiaoui, R.

Contributors: Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC)

Superior Title: IEEE, Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007. ; https://hal.science/hal-00271928 ; IEEE, Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007., Jun 2007, Lyon, France. pp 2561-2564

Subject Terms: Optical MEMS, comb-drive actuator, confocal microscopy reflow microlens, [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Subject Geographic: Lyon, France

Relation: hal-00271928; https://hal.science/hal-00271928

Availability: https://hal.science/hal-00271928